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器械净化工程-无菌洁净室工程设计阶段对送风量的确定，首先要满足相应洁净度级别的换气次数要求，同时还要通过热、湿负荷校核来进一步确定风量，在此基础上对过滤器进行选用。过滤器的处理风量应小于或等于额定风量，设置在同一洁净区内的 ( 亚、超 ) 空气过滤器的阻力、效率宜接近。

通常洁净室的送风量，应取以下 3 项中的更大值 ：为保证空气洁净度等级的送风量 ；根据热、湿负荷计算确定的送风量 ；向洁净室内的供给的新鲜空气量。而新鲜空气量应取下列 2 项中的更大值 ：补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 ；保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于 40m3。

对某一个特定的洁净室工程而言，换气次数要根据实际情况确定。特别是洁净要求较低的，有时换气次数取决于室内排热量。一般根据室内工作人员和设备的发尘量 ( 或工作人员的发尘量乘以一个系数 ) 计算出一个换气次数，两者取大者即可，有时为了保险起见，可以乘以一个使用系数，计算得出换气次数。

洗净室、品质检查室净化级别为7 级，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+风机过滤器单元（FFU)）的空调方式。采用的气流形式为顶部FFU送风，房间侧下百叶风口回风。FFU满布率为33%，洗净室、品质检查室对NH4+、SQx浓度有要求，需在循环机组（AHU）内增设化学过滤器。5级净化间的气流流程为：新回风混合-化学过滤器（NH4+）-化学过滤器（SQx）-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-风机过滤器单元（FFU）-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

除CP室外的洁净室所需新风采用2台新风机组（MAU-1、2）集中处理，新风集中处理后送至各循环机组（AHU）。其气流流程为：新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-各循环空调机组（AHU）。

     按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的fu面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

  每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的***。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于***，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。